Descripción
108c:
El 108C Auto Carbon Coater es uno de los recubridores de muestras más avanzados disponibles para el recubrimiento de muestras no conductoras antes del análisis de rayos X por SEM. El exclusivo sistema de evaporación de varillas controlado por retroalimentación proporciona múltiples evaporaciones de alrededor de 20 nm de grosor sin necesidad de moldear o ajustar las varillas. Las varillas de carbono escalonadas de alta pureza utilizadas en el 108C Auto proporcionan una calidad de recubrimiento superior utilizable a grandes aumentos. El 108C es un sistema compacto, sencillo de manejar y con un tiempo de ciclo de bombeo muy rápido. La opción del monitor de espesor de alta resolución MTM-10 permite adaptar las películas de carbono conductoras a los requisitos exactos de la muestra.
El Auto Carbon Coater 108C utiliza un novedoso suministro de evaporación. La corriente y el voltaje se controlan mediante cables sensores en el cabezal, y la fuente de evaporación se controla como parte de un bucle de retroalimentación. El suministro proporciona a la fuente de alimentación de varillas convencional una excelente estabilidad y reproducibilidad. El consumo de energía es bajo y la fuente presenta unas características de reencendido excepcionales. La fuente de evaporación puede funcionar en modo «pulsado» o «continuo».
108 Auto/SE Sputter:
El 108 Auto/SE Sputter Coater es la versión de equipo especial del Automatic Coater, producto nº 7002. El 108 Auto/SE está pensado para su uso en aplicaciones en las que el espesor del recubrimiento debe tener un grado muy alto de uniformidad. El tamaño de la cámara se ha incrementado a 150 mm de diámetro para dar cabida a la Etapa Rotativa-Planetaria-Inclinable desarrollada para el modelo 208HR de Recubrimiento de Alta Resolución.
108 Auto Sputter Coater:
- El 108 Auto Sputter Coater ofrece la opción de un funcionamiento totalmente automático o manual. Las especificaciones también incluyen la ventilación automática (con la elección del gas de ventilación) y el control de la purga de argón.
- En modo automático, el recubrimiento puede controlarse de dos maneras. El temporizador digital puede utilizarse para obtener revestimientos repetibles o el controlador de espesor de alta resolución MTM-20 (opcional) puede utilizarse para terminar el proceso de sputtering en el espesor deseado. Alternativamente, el Monitor de Espesor de Alta Resolución MTM-10 (opcional) también puede utilizarse para la terminación manual.
- El control digital de la corriente de pulverización catódica es totalmente independiente de la presión del gas argón en la cámara de pulverización catódica para lograr velocidades de pulverización catódica constantes y una cobertura óptima de la muestra.
- El eficiente magnetrón de corriente continua funciona con un bajo voltaje para un sputtering «ultra frío» que evita los efectos sobre la superficie de la muestra.
- Las válvulas electrónicas separadas para la fuga, la purga y la ventilación, junto con una válvula de aguja precisa, garantizan un funcionamiento rápido y sencillo.
- El cambio rápido del blanco permite una gama de materiales utilizados: Au, Au/Pd, Pt, Pt/Pd (Au de serie).
108 Manual Sputter Coater
- Este recubridor es ideal para la preparación rutinaria de muestras de SEM. Es compacto, económico y sencillo de manejar. Ofrece tiempos de bombeo rápidos, recubrimientos de grano fino y un calentamiento insignificante de la muestra.
- El recubridor manual estándar cuenta con un control de corriente totalmente variable, una válvula de aguja de precisión, un temporizador de proceso digital con «pausa», una mesa de muestras de altura variable, una placa superior con bisagras y una cámara de vacío con junta tórica.
- El sputtering se consigue con un eficiente magnetrón de corriente continua. Un blanco de cambio rápido permite utilizar una gama de metales. (Au, Au:Pd). El blanco de Au se incluye como estándar.
- El controlador de corriente permite la elección independiente de la corriente de sputter y la presión de argón. La cobertura y el tamaño de grano se optimizan para cualquier muestra.
- El suministro de sputtering con enclavamiento de seguridad es totalmente variable; el ajuste de la corriente de sputtering no está influenciado por el nivel de vacío. El monitor de espesor opcional se recomienda para medir con precisión las deposiciones.
208HR High Resolution Sputter Coater
- Amplia selección de materiales de recubrimiento. El diseño del cabezal del magnetrón y el manejo eficaz de los gases permiten una amplia selección de materiales objetivo.
- Control de espesor de precisión. Espesor optimizado para la tensión de funcionamiento del FESEM mediante el controlador de espesor de alta resolución MTM-20.
- Movimientos de la platina multiángulo. Los movimientos separados de las platinas giratorias, planetarias y basculantes garantizan un recubrimiento uniforme con una excelente conformidad, incluso en muestras muy topográficas.
- Múltiples portamuestras. Se proporcionan cuatro portamuestras con opciones para acomodar tamaños de muestra de hasta 32 mm de diámetro.
- Geometría variable de la cámara. La geometría de la cámara se utiliza para ajustar la tasa de deposición para optimizar la estructura.
- Amplia gama de presiones de funcionamiento. El ajuste independiente de la potencia y la presión permite el funcionamiento en un rango de presión de gas argón de 0,2 a 0,005 mbar.
- Diseño compacto y moderno de sobremesa. El diseño que ahorra espacio y energía elimina la necesidad de espacio en el suelo, agua o conexiones eléctricas especializadas.
- Facilidad de funcionamiento. El funcionamiento y la configuración del sistema son muy similares a los del recubrimiento por pulverización catódica estándar y no requieren una limpieza adicional en comparación con los recubridores de haz de iones.
